重生归来:我誓登权力巅峰

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第290章 光刻胶研发取得重大进展

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省里500亿半导体创新中心项目正式启动的第一周,李一凡就召集了一次专门会议。与会的除了市里各部门负责人,还有中微公司和南大光电的技术团队。

“这个项目意义重大。”李一凡环视会议室,“省里把重点放在星城上,是看中了我们在半导体领域的技术积累和产业基础。现在的关键是如何把今晚的资金用在刀刃上。”

陈启明领导接过话题:“根据省里的规划,这500亿将分三年启动。第一年200亿,重点是基础设施建设和重点项目落地;第二年200亿,重点技术攻关和产业培育;第三年100亿,完善装备和产业升级。”

“我们市里的100亿配套资金一定要安排。”李一凡,“要重点支持两个方向:一是南大光电的光刻胶项目,二是中微公司的技术创新。这两个领域都关系到产业安全。”

正着,南大光电技术总监王立新递上一份最新的测试报告:“我们在对中微28nm光刻机项目的光刻胶研发上取得了重要进展。最新一代产品在分辨率、感光性和稳定性等关键指标上都有突破。”

“详细讲述。”李一凡立即产生了兴趣。

“主要是三项技术创新。”王立新打开投影,“一是配方优化,提高了光刻胶的感光性能,实现了28nm制程要求的精度;二是工艺密封,将在ppb级别进行缓慢控制,这对良率提升很关键;三是添加剂创新,大幅提升了抗干扰能力。”

“第三点特别重要。”中微公司董事长尹志绕表示,“威廉姆斯团队正在推进28nm光刻机的研发,他们特别关注芯片安全架构。这种新型光刻胶的抗干扰特性,恰好能够契合我们在安全防护方面的设计。”

李一凡点点头:“这就是我们的优势。光刻机和光刻胶两个团队能紧密配合,良好创新。这也是省里500亿投资的重点支持方向。”

“关于光刻胶项目的具体落地。”市发改委主任刘向力,“南大光电计划投资50亿建设研发中心和生产基地,我们已经在半导体产业园建设了200亩核心用地。”

“时间节点要和中微的细节匹配。”李一凡,“威廉姆斯博士计划用两年时间完成28nm光刻机的研发和量产,我们的光刻胶必须同步化。”

“完全能够满足。”王立新,“我们的一期工程明年6月建成后,月产能达到3吨。这个规模完全可以满足中微前期的研发需求。等他们进入量产阶段,我们也能及时完成产能拓展。”

“产业配套也要同步规划。”市招商局局长高制鹏,“目前已有十几家上下游企业表示要跟进。包括前驱体材料、电子特气、靶材等,都是光刻胶产业必需的配套。初步提示,这些项目总投资将超过100亿。”

李一凡在白板上写下三个关键词:“技术好、产业定位、人才支撑。现在重点具体的推进计划。”

“先技术好。”威廉姆斯博士,“我们28nm光刻机的研发分三个阶段:第一阶段是光学系统突破,这是核心;第二阶段是整机集成,需要配合光刻胶进行工艺优化;第三阶段是量产验证,这就需要产业链的配合了。”

“工艺配合中微的节奏。”王立新补充道,“光刻胶的研发也分三步:首先完成基础配方,确保28nm制造工艺的分辨率要求;然后进行优化,均匀提高成膜性和稳定性;最后是良率提升,这需要大量的数据实践。”

“这个思路很清晰。”李一凡,“两个团队要紧密配合,互相反馈。得到了省里500亿的支持,我们在技术创新上鼓舞信心,但也要脚踏实地。”

市科技局局长刘青松插话道:“为了支持和谐创新,我们准备成立一个联合实验室。由威廉姆斯博士和王总共同担任主任,重点攻克关28nm制程的关键技术。”

“联合实验室很有必要。”尹志绕,“特别是在芯片安全方面,需要从光刻机、光刻胶两个层面同步设计。这也是我们独特的优势。”

正完成后,中微公司的技术团队带来了最新进展:“光学系统的初步设计已经,关键指标达到预期。下一步将进入样机测试阶段。我们计划在明年二季度完成首台工程机的建造。”

这一消息让会议室的气氛更加热烈。工程机是量产前的关键一步,如果能按期,将为整个项目打下坚实的基础。

“人才团队怎么配置?”李一凡问道。

“目前两个团队加起来有280人。”杨国强,“其中博士45人,硕士138人。但距离目标还有差距,特别是娱乐人才方面。我们正在进行全球范围内的招聘,计划年底前把团队扩充到500人。”

“人才引进的重要性。”李一凡强调,“重点是三类人才:一是光学系统专家,二是材料研发工程师,三是工艺集成人才。这些都是产业发展的关键。”

“已经有具体方案了。”市人社局局长杨国强,“对顶尖人才,提供最高2000万的安家费,加上住房、医疗、教育等配套。目前已有五位国际知名专家表示向加盟。”

“配套也要跟上。”市教育局局长刘清远汇报,“我们和中南大学合作的微电子学院已经批了,明年开始招生。同时,正在引进一所国际学校,专门解决外籍专家相关的教育问题。”

李一凡满意地点点头:“整个产业链要同步推进。从最上游的材料,到中游的设备,再到下游的制造,形成完整的创新体系。这也是省里500亿投资的意义所在。”

散会后,李一凡独自在办公室加班。作为重生者,他深知半导体产业的发展不能急于求成。稳扎稳打,循序渐进,才是正确的道路。

“老公,”林允儿打来电话,“学院开展一个专题报道,介绍星城半导体产业的创新发展。你觉得重点放在哪里?”

“报道可以,但要把握好尺度。”李一凡,“重点是产业良性和创新动力,具体的技术细节不用太详细。我们现在需要的是全力推进,而不是哗众取宠。”

夜色中,广大半导体产业园的建设工地依然火通明。李一凡望着这片热火朝的恐慌,心里已经出现了吵闹的蓝图:先在28nm这个节点稳脚跟,然后再谋求更高的突破。这才是一个产业强市的正确打开方式。

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