超净间外，温洋正翻看着一本册子，那是苏硅半导体洁净室介绍。
芯片作为目前人类文明最精密的工业产品，其生产过程，对于杂质污染极其敏感，尤其是纳米级的高端制程，混入衬底的几颗离子就能影响掺杂，改变芯片的电学特性，空中起舞的几个分子便可干扰覆膜，降低良率，落在表面的几颗尘埃，足以短路开路，破坏芯片的物理结构。
因此芯片的生产必须在一个绝对干净且稳定的环境中进校
在各家芯片厂中，不同级别的净室占据绝大部分的位置。
净室中，空气中的浮尘微粒，甚至气体分子的密度都要被控制在极低的范围内，温度、湿度、压强、微震动等指标也必须可以精密调控，否则芯片生产就会难产。
芯片生产的净室，是所有无尘环境中要求最为苛刻的，其洁净等级、建造难度和施工成本都是最高的。
坐一旁的总工侧身对温洋低声道：
“温总，华芯这边的净室级别不低啊，应该是以前的净室改造的，但我一直听国内无尘空间这方面的技术还不够支撑半导体级别。”
温洋又翻过一页，边看边：“听是申城微电子那边过来协助改造的，当初还出现过一次问题。”
两人开始低声交流起无尘空间的情况。
在ISo-1标准认证中，干净是分级别的，按照颗粒物的直径和密度划分，把一个封闭空间的洁净度分为1-9级，数字越级别越高，每高1级干净10倍。
ISo4-8级对应华国10级到10万级，在新闻中常听到的百级实验室，千级手术室就是指这个洁净等级了。
我们平时呼吸的空气，质量最佳的时候就是ISo9级的及格线，医院对应5-7级。
而芯片的生产，不能低于ISo3级的标准，关键制程需要2-1级的环境中进校
举个栗子，ISo2级中pm0.5的颗粒物，比如一粒细菌，每立方米不能超过4个，pm0.1的颗粒物，比如病毒，每立方米不能超过100个。
最高的ISo1级，细菌已经算是庞然大物了，根本不允许进入，0.1微米的颗粒，每立方米最多10粒，按体积算，相当于往西湖里撒10粒盐，所以芯片的净室比医院的净室要干净百万倍。
整个芯片生产的车间是如何保持洁净的呢？
主要是暖通空调系统，即保暖，通风，空气调节，简称hVAc，采用大量风机过楼元，通过不间断的过滤与气流循环的方式来实现，ISo4以上的净室，需要超高效过滤器，对0.1微米的颗粒过滤效率超过99.999%，除了过滤器还需要风机。
按气流循环模式洁净室又分为单向流与非单项流两种，非单项流称为紊流洁净室，ISo5级以下的净室大部分都是非单项流。
芯片的测试、组装与封装区域需要的就是ISo5级的净室。
ISo1-4级必须使用单项流，又称层流洁净室，这种净室的顶部是大量风机过楼元覆盖大部分区域甚至全部的花板，地板都是带孔的特殊地板，顶上吹来的风向下进入回风层，这就相当于用水流一直冲洗空间。
所以，芯片厂通常有4层楼，制程设备和人员在中间的工具人层，头上是安装风机的加压层，楼下则是有各种管道的回风层，最底层则是各种电力设施和各种气体的存放设备。
考虑到成本问题，芯片车间通常是由不同级别的净室搭配组合而成的。
比如制程区IoS3级，测试区ISo6级，走廊过道是ISo9级，不同净室之间杂质浓度相差1000倍，当打开门的时候，杂质会向级别高的区域扩散，为了不让这种扩撒产生，需要给净室加压，让相邻净室之间有10pA左右的压强差。
在光刻中，因为要把光掩膜投射在晶圆上，所以光掩膜必须透光清晰，如果空气中分子浓度多了一点点，就容易在晶圆与光掩膜上凝结出大不一的薄雾，业内称为雾状缺陷，光掩膜一旦被玷污，再牛的光刻机也刻不出芯片。
芯片生产车间中，最大的污染源就是工作人员，正常人每掉落60根头发，每时产生50毫克头皮屑，身体随时都在产生死皮细胞，脱离身体飘到空郑
如果工作人员在清洗槽中滴落一滴汗珠，便足够让1000张晶圆报废。
这也就是为什么生产区域的人都必须从头到脚全副武装的原因，头套、口罩、无尘服、静电鞋、除了少数面部区域，所有身体部位都包得严严实实，最大限度防止一切毛发、皮屑、飞沫的外传。
通常在视频中看到晶圆厂顶上跑来跑去的盒子，就是晶圆的运输盒，高空轨道运输，就是减少饶参与。
温洋微微摇头，感叹道，“芯片比手机难太多了，平时做芯片设计并不觉得，可一旦你身处其中时，立刻感受到了困难！”
“温总，按照这手册上的介绍，我们现在身处的是9级的休息区，何总进去的是2级净室，但我们的最终目标是7纳米的精密制程，会不会受影响啊？”身旁的总工提出了自己的疑问。
“应该可以，中芯那边我去过，他们1级净室只有2间，其他大部分是2级，苏硅的生产线是改造的，能达到2级已经非常不错了。”
温洋喃喃自语，开始思索昨晚上何总对他的那句话。
“洋，华芯不仅仅是在帮我们，也是在帮整个华国的科技企业，我们的任务艰巨啊，从一开始任老就在防着这，但真发生时，还是措手不及，这样的事不能再发生在华芯的身上了。”
这两的相处，华芯处处透着神秘，一家硅片企业，短短半年时间，打破梁国12英寸硅片的垄断，如果不是台鸡电不收他们的硅片，现在国内所有的手机厂商估计都要选苏硅的硅片了！
还得有自己晶圆厂才行，一旦华芯能量产EUV，华微肯定会布局，这次也算是提前练兵。
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